一、ITO的概念?
ITO 是Indium Tin Oxides的缩写,中文意为:氧化铟锡,是一种N型氧化物半导体。ITO薄膜即铟锡氧化物半导体透明导电膜,主要的性能指标是电阻率和光透过率。
二、ITO GLASS
ITO GLASS,是通过ITO导电膜玻璃生产线,在无尘的生产环境中,利用平面磁控技术,在超薄玻璃上溅射氧化铟锡导电薄膜镀层并经高温退火处理得到的。
ITO GLASS的分类:
1、按阻抗分类
分为高电阻玻璃(电阻在150~500奥姆)、普通玻璃(电阻在60~150奥姆)、
低电阻玻璃(电阻小于60奥姆)。高电阻玻璃一般用于静电防护、触控屏幕
制作用;普通玻璃一般用于TN类液晶显示器和电子抗干扰;低电阻玻璃一
般用于STN液晶显示器和透明线路板。
2、按尺寸分类
分为14”x14”、14”x16”、20”x24”等规格
3、按厚度分类
分为2.0mm、1.1mm、0.7mm、0.55mm、0.4mm、0.3mm等规格,厚度在0.5mm以下的主要用于STN液晶显示器产品。
4、按平整度分类
分为抛光玻璃和普通玻璃。
三、ITO FILM
ITO FILM 是指有硬涂层处理的PET胶片,是由PET和经过UV处理的耐化学试剂硬涂层组成。
常用的ITO FILM按层数分类,一般分为单层,两层和三层。
ITO FILM与ITO GLASS在实际的生产过程中是有区别的,ITO在正式上生产线之前,需要进行一道调质处理程序,即所谓的ITO FILM 老化程序。
四、ITO 镀膜方式
1、真空蒸渡
是指在真空状态(约0.01pa以下压力)下,加热金属,氧化物,硫化物等使之挥发气化,从而在载体上形成薄膜层的技术。
真空蒸渡方式的分类:
(1) 电阻加热
(2) 高频感应加热
(3) 电子束加热
(2) 溅镀 – 是指在真空状态下发生电离子化的高能粒子装机靶材,从而使构成靶材的成分作为粒子溅出并附着于薄膜表面的加工工艺。溅镀成膜的方式分类:
- DC磁控管
- MC磁控管
- 凝胶法(So——Gel)。是指现将ITO成分的粉末以液态之分散剂的形式均匀的悬浮于液体之中,再以旋镀(Spinning Coating)或者锓镀(Dipping Coating)的方式在载体表面形成一层液态薄膜,走后再以高温将液体蒸发,并将ITO粉末烧成质密薄膜状。
五、ITO的结构
六、ITO的制程
ITO FILM与ITO GLASS中ITO材质,银浆线材质,加工工艺
1. FILM的生产流程
FILM——开料——缩水——印耐酸——绝缘——粘胶——依规格书印刷
2. GLASS的生产流程
GLASS——清洗——印耐酸——印引银胶——绝缘点——粘胶——依规格书印刷
3. 搭配ITO玻璃与搭配FILM的不同点
由于电容屏很容易受到终端系统内各种电磁辐射的干扰,所以,要做到平稳的rowdata值和流畅的画线效果,就会对IC的处理速度和抗干扰性方面有着很高的要求。
(1) 单层布线
3.3 双层布线
3.4 保证pattern之间的宽度与间距相等
3.5 走向轨迹与dummy先匹配
3.6 Trace & Shielding 不少于4mm
3.7 ITO布线举例